靜電卡盤技術資料-更換處理卡盤-型靜電卡盤-卡盤晶片-卡盤-卡盤加熱器類資料（198元/全套）選購時請記住本套資料（光盤）售價：198元；資料（光盤）編號：F150876
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《靜電卡盤資料》包括專利技術全文資料47份。
0001)夾持基板的靜電卡盤以及使用其的液晶顯示面板基板粘接裝置和方法

0009)靜電卡盤

0010)極紫外光刻掩模臺靜電卡盤冷卻器

0031)真空處理裝置、靜電卡盤的診斷方法及存儲介質
0041)使用靜電卡盤的基板保持機構及其制造方法
0042)靜電卡盤加熱器
0043)靜電卡盤裝置
0044)靜電卡盤
0045)用于等離子體反應器的具有智能升降銷機構的靜電卡盤
0046)靜電卡盤的濕法清洗
0047)靜電卡盤



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