產品品牌：貝斯特

產品型號：BTHYL-01-12

多晶硅還原爐簡介：公司開發的多晶硅還原爐是用于生產多晶硅主流技術路線“改良西門子法——閉環式三氯氫硅氫還原法”中進行CVD反應生產高純多晶硅的主體設備。我們目前開發的多晶硅還原爐是鐘罩式12對棒還原爐，主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管、電極冷卻水進水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成。爐體主體采用不銹鋼材質 SUS316L且進行拋光處理（增強爐內熱量漫反射，減少熱輻射，節省能源），以減少設備材質對產品的污染。爐體外夾套采用不銹鋼材質SUS304，用來通冷卻水或導熱油，帶走反應放出的熱量。底盤采用不銹鋼材質SUS316L，底盤也有夾層，用來通入冷卻水，以保護密封墊圈。電極由導電性能較好的優質紫銅材料制成，經過特殊設計、工藝處理，內部通過冷卻水進行冷卻，電極與載體用石墨夾頭進行連接。混和氣進氣管分為9個噴口（其中8個噴口均勻的設置在底盤上），在還原爐底盤上分二個圓周均勻布置12對電極，最外一周布置8對電極，最內一周布置4對電極，該種設計使還原爐內部結構布局合理，單臺爐每批次產量較現有還原爐有大幅度的提升，多晶硅的綜合生產成本和能耗也相應降低。

本公司經營多晶硅還原爐，質量保證，歡迎咨詢洽談。