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主要技術(shù)參數(shù):
工作溫度:1200℃
爐管長度:1200mm
爐管直徑:50mmm
爐管厚度:5mm
密封方式:不銹鋼真空法蘭
真空度:1.0X10E-3Pa
流量計類型:質(zhì)量流量計
氣體流量:100SCCM、200SCCM、500SCCM
載料舟長度:200mm
移動速度:160mm/60min(可根據(jù)實(shí)際要求調(diào)節(jié))
溫度控制:50段可編程控制
控制系統(tǒng):全電腦程序控制
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