載物臺(tái)(常規(guī)晶圓載物臺(tái)）

 尺寸

6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12"

 材質(zhì)

不銹鋼

 平整度

≤±2.5μm

 真空區(qū)域*

0，2"，4"，6"環(huán)形吸附**

 真空控制

手動(dòng)控制，獨(dú)立真空區(qū)域

 真空驅(qū)動(dòng)方式

真空泵

 載物臺(tái)電性能

載物臺(tái)信號(hào)導(dǎo)通，可選擇接地或接信號(hào)

*根據(jù)載物臺(tái)尺寸有所不同，如載物臺(tái)尺寸為12"，則真空吸附區(qū)域?yàn)?，2"，4"，6"，8"，12"。

** 除環(huán)形吸附外，還可選微孔吸附式載物臺(tái)，以適用于厚度在50μm或以內(nèi)的晶圓。

載物臺(tái)移動(dòng)基座

  X-Y軸行程范圍*

6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程

 精度

1μm

  R軸粗調(diào)角度范圍

360°

  R軸細(xì)調(diào)角度范圍

±9°

 微調(diào)精度

0.0001°/deg

  Z軸細(xì)調(diào)行程范圍

13mm

 細(xì)調(diào)精度

1μm

  Z軸快升行程

0~6mm, 可調(diào)

  Z軸往復(fù)精度

<1μm

 載物臺(tái)快速拖出行程

100mm

*根據(jù)載物臺(tái)尺寸不同，行程有所不同，如載物臺(tái)為12"，則X-Y移動(dòng)行程為12"*12"。

探針座放置平臺(tái)

 材質(zhì)

鋼，表面沉鎳處理

 平臺(tái)板尺寸*

可放置8個(gè)CM50或4個(gè)RF50探針座

 平臺(tái)板至載物臺(tái)高度

1.496”(38mm)

 探針座兼容性

可兼容磁力或真空吸附底座的探針座

  Z軸細(xì)調(diào)行程范圍

45mm

  Z軸快升行程

350μm

  Z軸往復(fù)精度

<1μm

*此處為6"探針臺(tái)可放置的探針座數(shù)量 ，更大尺寸探針臺(tái)詳詢客服人員。

顯微鏡移動(dòng)基座

  X-Y軸行程范圍

2"*2"(50mm* 50mm)

  X-Y軸精度

1μm

 調(diào)焦行程

2"(50mm)

 精度

1μm

  Z軸粗調(diào)行程

100mm

 氣動(dòng)升降行程

40mm

光學(xué)系統(tǒng)

 類型

金相顯微鏡，可選體視或單筒顯微鏡

 光學(xué)放大倍數(shù)*

20X-2000X

* 根據(jù)所選物鏡或顯微鏡放大倍數(shù)不同會(huì)有不同的光學(xué)放大倍數(shù)，詳細(xì)請(qǐng)咨詢客服人員。

其它信息

 臺(tái)體尺寸

724mm*606mm*610mm（W*D*H）

 重量

120kg

加熱載物臺(tái)(可選項(xiàng)）

 尺寸

6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12"

 溫度范圍

室溫~300℃

 溫控精度*

0.5℃（典型值）

 溫度均勻性

0.5℃@6"載物臺(tái)

 加熱時(shí)間

<6min（室溫~300℃）

標(biāo)準(zhǔn)配置的加熱臺(tái)為自然冷卻，可選風(fēng)冷或水冷套件。

RF載物臺(tái)(可選項(xiàng)）

 尺寸

6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12"

 校準(zhǔn)片載物臺(tái)

2個(gè)（獨(dú)立真空控制）

 尺寸

配套CS-5等尺寸的校準(zhǔn)片

 校準(zhǔn)片載物臺(tái)角度調(diào)節(jié)范圍

7°

 材質(zhì)

不銹鋼

 平整度

≤±2.5μm

 真空驅(qū)動(dòng)方式

真空泵

其它擴(kuò)展配件(可選項(xiàng)）

 探針卡夾具

可根據(jù)探針卡尺寸定制，應(yīng)用于多點(diǎn)或自動(dòng)測(cè)試

 激光器

1064nm，532nm，355nm，三個(gè)波段自由配置，對(duì)芯片線路進(jìn)行切割修改。

 半自動(dòng)控制系統(tǒng)

實(shí)現(xiàn)晶圓小批量半自動(dòng)測(cè)試需求

設(shè)備環(huán)境要求

 電源

220V±10%

 真空

-8bar

 壓縮空氣

0.6MPa