企業信息化建設
電子商務服務平臺
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DC、RF、mmW測試；
納米級電子器件測試、微機電測試；
超導測試。
產品特點：
80k-573k溫度范圍，可擴展至4k-1073k。
載物臺內部液氮浸潤式結構，快速降溫，液氮使用量更少，節約耗材成本。
高真空不銹鋼真空腔體（配套分子泵組可達10-6mbar）。
低溫測試時真空腔體體內無凝露、結霜。
紅外截止玻璃觀察窗，提升測試腔內部溫度穩定性。
4探針點測系統，最多可定制8探針點測系統。
配套同軸或三軸電纜可應用于高精度的DC測試。
配套微波測試套件可應用于DC-67GHz的RF測試或頻率更高的mmW測試。
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技術指標 |
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載物臺 |
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尺寸 |
4"（2"、6"、8"方案可選） |
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材質 |
合金銅 |
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表面處理 |
可選純金鍍層或沉鎳鍍層 |
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平整度 |
<50µm@300℃ |
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載物臺移動基座（可選項） |
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X-Y軸行程范圍 |
4"*4"，根據載物臺尺寸可選更大行程，電動控制系統可選 |
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精度 |
1μm |
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R軸微調角度范圍 |
±9° |
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R軸微調精度 |
0.0001°/deg |
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Z軸細調行程范圍 |
13mm |
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細調精度 |
1μm |
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Z軸快升行程 |
350μm |
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Z軸往復精度 |
<1μm |
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溫度控制系統 |
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溫度范圍 |
80k-573k |
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溫度精度 |
0.1℃ |
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溫控精度 |
溫控精度0.1℃，連續變溫無節點。 |
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溫度均勻性 |
0.1℃@4(100mm)載物臺。 |
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加熱方式 |
電阻加熱 |
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制冷方式 |
液氮制冷 |
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杜瓦罐容量 |
80L自增壓液氮杜瓦罐 |
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致冷劑消耗量 |
15L液態氮（室溫降至80k） |
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溫度擴展范圍 |
4k-1073k |
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真空系統 |
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真空度 |
10-3mbar*（可配套分子泵組，達到更高的真空度10-6mbar） |
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真空泵 |
旋片式雙級油封真空泵，可升級渦輪分子泵組 |
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抽速 |
16m3/h |
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抽真空時間 |
5min（10-3mbar） |
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真空焊接波紋管 |
三維彎曲大于25mm（定制參數） |
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法蘭 |
KF（更高真空度要求則使用CF） |
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真空腔體 |
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腔體材質 |
不銹鋼 |
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觀察舷窗 |
紅外截止玻璃** |
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真空泵接口法蘭 |
KF25 |
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液氮接口法蘭 |
KF25 |
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點測系統 |
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探針座數量 |
4個（最多8個，可根據需求定制） |
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探針夾具 |
4個（最多8個，可根據需求定制） |
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定位精度 |
5μm（可根據需求定制） |
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X-Y-Z軸移動行程 |
25mm*25mm*25mm（可根據需求定制） |
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光學系統（體視顯微鏡） |
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光學放大倍數 |
15X-100X |
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變焦倍率 |
0.75X-5X（變倍比6X） |
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CCD |
1/3”數字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 |
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顯微鏡旋臂 |
兩段式顯微鏡支架，可快速移動定位顯微鏡 |
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光學系統（單筒顯微鏡） |
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光學放大倍數 |
400X(21英寸顯示器) |
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變焦倍率 |
0.58X-7X（變倍比12X，超大變倍范圍） |
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CCD |
1/3”數字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 |
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顯微鏡旋臂 |
兩段式顯微鏡支架，可快速移動定位顯微鏡 |
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顯微鏡移動基座（可選項） |
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X-Y軸行程范圍 |
2"*2"，根據載物臺尺寸可選更大行程，電動控制系統可選 |
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精度 |
1μm |
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防震臺 |
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隔震方式 |
氣囊式防震臺 |
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固有頻率 |
1.2Hz（水平），1.5Hz（水平） |
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樣品振動 |
<300nm（真空泵工作時） |
*低溫測試時真空腔體內無凝露或結霜。
**紅外截止玻璃：過濾紅外光，防止紅外光進入真空腔體內使腔體內部升溫，提升載物臺溫度穩定性。
***77k為液氮溫度，實際操作中，由于載物臺熱傳導損耗的存在，無法達到77k。根據液氮循環的時間而定，實際最低溫度不會低于85k。
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