廣州番禺深莞|電子儀器廠房凈化工程|潔凈車間|廠房裝修 廣州番禺佛山東莞深圳|電子儀器廠房凈化工程|潔凈車間無塵車間|電子儀器生產車間廠房潔凈凈化工程 電子工業潔凈室的設計 電子工業潔凈室的特點： 電子工業潔凈室的特點一是大，二是多變。幾千平方米、上萬平方米的面積并不少見。電子工業的技術*新快，工藝變了，平面布局就要跟著變，因此平面上不宜有固定的分隔，特別是很小的分隔。具體說，有以下一些*特之處應加注意。 （1）平面由工藝決定，電子工業潔凈廠房的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性，滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。 （2） 主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不宜采用內墻承重體系。 （3）大型電子工業潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造。 （4）應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求，設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產環境的安裝口或檢修口。 （5）電子工業潔凈室按二級耐火等級設計。 （6）特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室（區）分開，該墻耐火**不**1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區至少三面是敞開的，氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M，儲存區設置的雨篷應不**3.5M。 （7）電子工業潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。 （8）電子工業潔凈室允許設空氣吹淋室，這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服*衣室相鄰。單人吹淋室按較大班人數為30人一間設計，當工作人員*過5人時，應設旁門，當人數太多或為了縮短通過時間，也可設遂道式吹淋室。 （9）對于**別潔凈室，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具。 （10）電子工業潔凈室常要根據生產工藝要求設置防靜電環境，以便抑制靜電的產生，將已產生的靜電迅速、安全的排除。 （11）電子工業潔凈室友有對防微振的特殊要求，在廠地環境上應避開振動源。 （12）電子工業潔凈室除有一般給排水要求外，對*大規格集成電路的用水也有標準。 電子工業潔凈室的環境參數 環境參數 參 數 數 值 說 明 截面風速/（M/S） 0.3-0.5 0.2-0.4 潔凈度1-3級（ISO）潔凈室 潔凈度4-5級（ISO）潔凈室 換氣次數/（次/H） 50-60 15-25 10-15 潔凈度6級（ISO）潔凈室 潔凈度7級（ISO）潔凈室 潔凈度8-9級（ISO）潔凈室 靜壓差/PA >5 >10 不同等級潔凈室之間以及潔凈室與非潔凈室 之間潔凈室與室外之羊 溫度/。C 18-22 16-20 按具體工程項目要求 24-26 26-28 按具體工程項目要求 工藝無要求時的生產環境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產環境 工藝無要求時的生產環境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產環境 相對濕度/% 冬 夏 30-50 按具體工程項目要求 50-70 按具體工程項目要求 工藝無要求時的生產環境 工藝有要求時的生產環境 工藝無要求時的生產環境 工藝有要求時的生產環境 新風量/[M3/（人.H) 40 噪聲/DB(A) <65 單向流及單向流與非單向流并存的潔凈室 照度/1X 300-500 200-300 非單向流潔凈室主要生產用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外） 其他用房 照度均勻度 0.7 靜電表面電阻率 1*105—1*1010 一級標準為1*105—1*107 靜電體積電阻率 1*104-1*109 地面對地的漏泄電阻 *105-1*108 靜電壓 <50(45%相對濕度) 4級(ISO)以上潔凈室 振動速度 振動加速度 振幅 相對位移量 根據工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照** 電磁干擾 4級(ISO)以上潔凈室,當潔凈室靠近高壓輸配電設施時尤為重要