級別 BEL(相當于SEMI-C12標準）英文名 Hydrofluoric acid selectipur主要用途 電子工業(yè)用蝕刻劑技術條件(單位：ppb)灰塵顆粒 0.1微米 < 27個色澤 5#磷酸鹽(PO43-)≤50氯化物(CL-)≤50硫酸鹽(SO42-)≤50亞硫酸鹽(SO42-)≤50六氟化硅(SiF6)≤50溶出物(TOC)≤10鎘(Cd)≤0.1鎵(Ga)≤0.1鈷(Co)≤0.1錳(Mn)≤0.1鉑(Pt)≤0.1鈦(Ti)≤0.1鋁(Al)≤0.1砷(As)≤0.1鈣(Ca)≤0.1金(Au)≤0.1銅(Cu)≤0.1鉬(Mo)≤0.1鋇(Ba)≤0.1鉛(Pb)≤0.1鉻(Cr)≤0.1銦(In)≤0.1鋰(Li)≤0.1鈉(Na)≤0.1鍶(Sr)≤0.1鈹(Be)≤0.1硼(B)≤0.1鐵(Fe)≤0.1鉀(K)≤0.1鎂(Mg)≤0.1鎳(Ni)≤0.1鉈(Tl)≤0.1銀(Ag)≤0.1釩(V)≤0.1鉍(Bi)≤0.1鋅(Zn)≤0.1錫(Sn)≤0.1鋯(Zr)≤0.1鍺(Ge)≤0.1鈮(Nb)≤0.1鈀(Pd)≤0.1鉭(Ta）≤0.1鎢(W)≤0.1